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mile米乐m6电竞:简单了解单晶硅片基本的加工过程

发布时间:2023-10-26 23:50:23 来源:mile米乐m6下载链接 作者:m6米乐足球APP下载

  外径磨削:由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大,通过外径滚磨能够得到较为精确的直径。

  倒角:指将切割成的晶片锐利边修整成圆弧形,防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生。

  研磨:指通过研磨除去切片和轮磨所造成的锯痕及表面损伤层,有效改善单晶硅片的翘曲度、平坦度与平行度,达到一个抛光过程能处理的规格。

  腐蚀、清洗:切片后,硅片表面有机械损伤层,近表面晶体的晶格不完整,而且硅片表面有金属粒子等杂质污染。因此,一般切片后,在制备太阳能电池前,需要对硅片进行非物理性腐蚀。 在单晶硅片工艺流程中很多步骤要使用到清洗,这里的清洗主要是腐蚀后的最终清洗。清洗的目的是清除晶片表面所有的污染源。常见清洗的方式主要是传统的RCA湿式化学洗涤技术。

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