得益于近年来国家关于半导体工业的注重和大力扶持,国产芯片规划工业开展迅猛,在不少范畴均完成了打破,可是在芯片上游的半导体材端,特别是在大尺度硅片方面,由于需求的投入大,投入周期较长,见效慢,现在国内仍是十分单薄。
在12月13日举行的2019我国(珠海)集成电路工业高峰论坛上,作为现在仅有一家国产300mm(12英寸)大硅片量产企业,前中芯世界CEO、上海新昇半导体科技有限公司CEO邱慈云泄漏,上海新昇的28nm逻辑、3D-NAND存储正片经过了长江存储的认证。
硅片是出产半导体所用的载体,是半导体最重要的原资料。现在硅基半导体资料也是产量最大、使用最广的半导体资料。依据 SEMI 计算数据,从半导体器材产量来看,2017 年全球 95%以上的半导体器材和 99%以上的集成电路选用单晶硅作为衬底资料,而化合物半导体商场占比仍在 5%以内。假如仅从全球半导体资料出售占比来看,SEMI猜测,2019 年硅片的出售额在全球半导体制作资料职业傍边的占比也是最高的,达到了37.29%。
硅片依照尺度(以直径核算)分类,首要有 50mm(2 英寸)、75mm(3 英寸)、100mm(4 英寸)、150mm(6 英寸)、200mm(8 英寸)、300mm(12 英寸)等标准,现已开展到 18 英寸(450mm)。现在,全球商场干流的产品是 8英寸和12英寸的半导体硅片。
依据电子职业协会计算,2016 年我国大陆企业在 4-6 英寸硅片(含抛光片、外延片等)的产量约为 5200 万片,根本衬托满意国内 4-6 英寸的晶圆需求。可是 8 英寸-12 英寸的大硅片,国内自供率依然比较低。国内具有 8英寸硅片和外延片出产才能的有浙江金瑞泓、昆山中辰、北京有研新材、南京国盛、CECT46 所以及上海新傲,算计月产能约为 23.3万 片/月。而在而 12 英寸半导体硅片方面,现在首要依托进口,商场首要被国外厂商所占有。
数据也显现,2018年12英寸硅片商场份额已达63.31%,成为硅片商场最干流的产品。全球前五大硅片供货商为日本信越化学株式会社、日本株式会社 SUMCO(胜高)、台湾举世晶圆股份有限公司、德国 Siltronic AG(世创)和韩国 SK Siltron Inc.,别离占有全球商场份额的 29.8%、26.3%、17.1%、11.3%和 10.6%,产量算计占有超越95.1%的商场份额。
由此可见,12英寸大硅片商场被国外厂商长时刻味道,国内严峻依靠进口的现象,急需破局!
近年来,获益于核算机、移动通讯、固态硬盘、工业电子商场持续增加,以及人工智能、区块链、物联网、轿车电子等新式使用范畴的快速开展,推进了关于半导体芯片需求的持续增加。
依据WSTS的数据显现,2018年全球半导体集成电路出售额已高达4703亿美元,而在1976年这个数字仅仅是29亿美元。42年的时刻,翻了168倍,年复合增加率达13%。尽管2019年全球半导体商场规划呈现了下滑,可是估计2020年将重回升势。巨大的半导体芯片商场需求,也直接推进了关于硅片需求的增加。
依据 SUMCO 和 SEMI 的计算,2017 年全球 8 英寸和12 英寸硅片的需求别离为 558 万片/月和 557 万片/月,8 英寸和 12 英寸硅片的出货量别离为 530 万片/月和 550 万片/月,硅片厂商在满产的状态下仍不能满意需求。保存估计到2020 年 8 英寸和 12 英寸的终端商场需求量将别离超越 630 万片/月和 620 万片/月。
需求指出的是,由于硅片出产线的建造周期较长,一般为 2-3 年,这也意味着在未来的一段时刻内大硅片产能不具备快速提高的根底,在需求快速增加的一起,大尺度硅片商场将呈现求过于供的局势。
SUMCO猜测,未来 3-5 年内全球 12英寸硅片的供应和需求仍旧存在缺口,而且缺口会跟着半导体周期的景气程度回暖而越来越大,到 2022 年将会有100万片/月的缺口。
别的,依据中科院数据显现,现在我国大陆已投产的12英寸晶圆产线万片/月。数据显现,现在我国大陆12英寸晶圆产线亿元,而在建和规划中的12英寸晶圆厂出资也接近了7500亿元。
而关于国内如此之多的已建成、在建及规划中12英寸晶圆产线,必然会直接推进国内商场关于12英寸硅片需求的快速增加。尽管,现在12英寸硅片首要被国外厂商所味道,但在国产代替的大趋势之下,这关于国产12英寸硅片来说将是一个巨大的机会。
硅片的出产工艺首要包含:拉晶、切片、研磨、蚀刻、抛光、外延、键合、清洗等工艺进程,才干制作成为半导体硅片。其间,每一个进程都有十分高的要求。
比方在拉晶这一步之前,首要需求对硅进行提纯,经过进一步提纯变为纯度达 99.9999999%至 99.999999999%(9-11 个 9)的超纯多晶硅。然后,在拉晶阶段,要将超纯多晶硅在石英坩埚中熔化,并掺入硼(P)、磷(B)等元素改动其导电才能,放入籽晶确认晶向,经过单晶成长,制成具有特定电性功能的单晶硅锭。在这进程中,需求处理氧含量及径向均匀性、杂质的操控、OISF操控、去COP、定晶向、A-缺点操控、氧沉积操控、电阻值定量、掺杂及径向均匀性等很多问题。
相同,在之后的切片、研磨、蚀刻、抛光、外延、键合、清洗等进程中,也有十分多的需求处理的问题。
邱慈云标明,硅片中心技能史是一个应战极限的进程!比方在晶体需求完美的成长,无原生缺点,这相当于要求420公斤的硅单晶棒都要坚持钻石一般的完美结构,而在天然界傍边,一克拉(200毫克)的钻石都并不多见;在外表洁净度方面,颗粒尺度的要求要小于19nm,这只有PM2.5尺度的1%巨细;在平整度方面,要求在几厘米的尺度上小于10nm的崎岖,这相当于要求上海到北京的1000公里的间隔上,地上崎岖小于30cm;在金属杂质方面,要求外表金属含量低于1×10的七次方个原子/平方厘米,相当于每1千万个硅原子中,不能呈现1个金属原子。
假如说,上面的关于硅片的制作要求现已是在应战机极限,那么大硅片的中心技能则是要全方位的寻求杰出,在拉晶技能、标明边际缺点、平整度、金属杂质、检测表征技能保证等方面都提出了更高的要求。
正是由于大硅片难度十分的高,这也给国产大硅片工业的开展带来了应战。所幸的是,现在上海新昇的12英寸大硅片项目在2017年四季度现已完成了量产,现在硅晶圆出货现已累计超越100万片。
上海新昇成立于2014年6月,是国内首个12英寸大硅片项目的承当主体,也是现在仅有取得国家重大项目支撑的硅片公司,承当了国家02专项中心工程之一的“40-28 纳米集成电路制作用300毫米硅片”项目。
2015年,上海新昇一期厂房开工建造;2016年榜首根晶棒下线年榜首片产品出售、榜首片正片送样;2018年正片经过认证,达产10万片/月,一起无缺点晶体研制成功;2019年,上海新昇28nm逻辑、3D-NAND存储正片经过长江存储认证,第100万片产品下线英寸大硅片项目发展十分的敏捷。
在现有产能和未来产能规划方面,据邱慈云介绍,现在上海新昇产能现已达到了15万片/月(40nm及以上工艺节点10万片/月,28nm及以上工艺节点5万片/月)。现在,二期项目设备现已开端搬入,二期规划的产能为30万片/月(首要掩盖14nm及以上工艺节点)。现有的厂区可包容60万片/月的产能。此外,上海新昇还敷衍了事可包容100万片/月产能的扩建用地。因而,根本不必忧虑后续关于商场需求的接受才能。
在实践出货方面,现在上海新昇的硅晶圆出货现已累计超越100万片,当然其间有不少是测验样片。据邱慈云介绍,近两年器材用正片累计出货量也已超越了75000件。国内外累计客户已达30多家。
邱慈云着重,大硅片工业是全方位的系统工程,不只需求很多的资金保证,强有力的技能支撑,丰厚的研制经历,还需求丰厚的下流客户服务经历。而这些方面,也正是新昇科技的优势地点。
“作为国内仅有12英寸硅片正片量产的供货商,新昇科技现已在我国完成了从‘0’到‘1’的要害打破。”邱慈云十分骄傲的提到。
需求指出的是,上海新昇隶属于我国大陆规划最大的半导体硅片企业——上海硅工业集团,而上海硅工业集团的大股东则是国家大基金,因而背靠上海硅工业集团的新昇科技天然也成为了国产大硅片“国家队”的一员。
此外,上海硅工业集团公司旗下还敷衍了事新傲科技、Okmetic这两家控股子公司,一起也是法国半导体资料公司Soitec的大股东之一。
其间,Okmetic 成立于 1985 年,坐落芬兰,是一家老牌的硅片出产商,Okmetic首要产品为抛光片和 SOI 硅片,用于 MEMS、传感器、模仿电路及分离式半导体产品开发及出产。
而新傲科技则成立于2001 年,建成了我国榜首条 SOI 出产线,现在是我国抢先的 SOI 资料出产基地,也是世界上少量的 SOI 资料规划化供货商之一。现在,新傲公司的产品 90%以上出售到美、日、欧、俄、韩、台湾和新加坡等地。
法国的Soitec公司是全球SOI硅片和其他工程基片的抢先供货商,现在Soitec出产的SOI硅片占全球的80%以上的商场,而选用Soitec公司的Smart Cut技能出产的SOI硅片则超越了全球SOI硅片出产总量的95%。此前,Soitec也与新敖科技达成了Smart Cut技能上的协作。值得一提的是,Soitec公司在GaN和SiC技能上也有着深沉的布局。
不难想象的是,未来上海新昇或将与上海硅工业集团公司旗下的新傲科技、Okmetic、Soitec等在技能和商业上有更多的协作,一起也将带来更强的工业的协同优势。