mile米乐m6电竞:【48812】无触摸硅片厚度TTV电阻率归纳检测体系
发布时间：2024-08-06 17:34:33
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作者：m6米乐足球APP下载
PV-1000系列无触摸硅片厚度TTV电阻率归纳测验体系为太阳能/光伏硅片及其他资料供给快速、多通道的厚度、（总厚度改变）TTV、翘曲及无触摸电阻率丈量功用。并供给根据TCP/IP的数据传输接口及根据Windows的操控体系软件，用以进行在线及离线数据管理功用。
无触摸硅片归纳检测体系-技术指标■晶圆硅片测验尺度：50mm- 300mm.■厚度测验规模：1.7mm，可扩展到2.5mm.■厚度测验精度：+/-0.25um■厚度重复性精度：0.050um■丈量点直径：8mm■TTV测验精度: +/-0.05um
■电阻率丈量精度：2%■电阻率丈量重复精度：1%■晶圆硅片类型：单晶或多晶硅■资料：Si，GaAs，InP，Ge等简直一切半导体资料■可用在：切片后、磨片前、后，蚀刻，抛光以及出厂、入厂质量检验等■平面/缺口：一切的半导体规范平面或缺口■硅片装置：裸片，蓝宝石/石英基底，黏胶带■接连5点丈量使用场景规模切片线锯设置厚度总厚度改变TTV监测导线槽刀片替换磨片/刻蚀和抛光进程监控厚度总厚度改变TTV资料去除率弯曲度翘曲度平整度研磨资料去除率zui终检测抽检或全检终检厚度
主营产品：少子寿仪，红外探伤仪，氧碳含量仪，椭楄仪，类型测验仪，电阻率测验仪，蓝宝石等检测设备
